作者:Analog CMOS
不僅可以做電容、電阻,還可以做:電感、MOS管、三極管、二極管等
平時消費者看到的成品是這樣子
打開黑色外套,內部核心大概長這樣子
里面應該會有的典型器件:
1. 電容有poly 電容 MOS電容 MOM電容
2. 電阻:有poly電阻diffusion電阻
3. 電感
4. 二極管
5. 三極管
IC的制作過程實際上就是在硅襯底上多次反復進行薄膜形成、光刻、摻雜等加工。
具體操作有刻蝕、注入、蒸發、濺射、生長、沉淀、冷卻、退火等復雜的工藝。
工藝步驟
1. 潔凈工藝
給硅片提供潔凈的環境
2. 氧化工藝
3. 薄膜工藝
IC的制作過程實際上就是在硅襯底上多次反復進行薄膜形成、光刻、摻雜等加工。
4. 光刻工藝
把(掩膜版上的)圖形轉移到硅片上
5. 摻雜工藝
摻雜就是將硼、磷、砷等元素加到硅圓片內或多晶硅等薄膜內,改變其雜質濃度,以改變硅片的性質,如從n型變成p型、從p型變成n型,或改變其電阻率。
6. 刻蝕工藝
刻蝕就是利用光刻膠或其它材料作掩蔽層,對沒有保護的區域進行腐蝕,最終實現掩膜版圖形變成硅片上圖形的圖形轉移。
7. 平坦化工藝
在集成電路工藝發展過程中,隨著加工層數的增加,出現了表面的臺階高差越來越大的問題。